высокочастотный разряд

ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ РАЗРЯД - электрический разряд в газах под действием электрич. ВЧ-поля. В. р. может возникать при расположении электродов как внутри разрядной трубки, так и вне её (безэлектродный разряд ),а также при фокусировке эл.- магн. излучения в свободном газе, в частности в атмосфере (сверхвысокочастотный разряд и оптические разряды ).Осн. физ. процессы и особенности В. р.: под действием электрич. ВЧ-поля электроны приобретают большие энергии и оказываются способны эффективно ионизировать при соударениях атомы или молекулы газа (см. Ионизация); потери электронов из газоразрядной плазмы В. р. происходят за счёт объёмной рекомбинации, "прилипания" к молекулам и диффузии; распределение электронов по энергиям может иметь сложный характер, существенно отличающийся от Максвелла распределения; процессы на граничных поверхностях при В. р. менее существенны, чем при разряде в пост. электрич. поле. Амплитуда ВЧ-поля, необходимого для возникновения В. р., увеличивается с ростом давления газа и частоты поля. Погасание разряда происходит при существенно более слабых полях, зависящих от условий рекомбинации и диффузии. Область существования В. р. в зависимости от амплитуды и частоты электрич. поля имеет гистерезисный характер. При больших давлениях газа (близких к атмосферному) В. р. между двумя электродами наз. высокочастотной короной, а при достаточной мощности источника он переходит в высокочастотную дугу. Удаляя один электрод, можно получить факельный разряд .При низких давлениях режим В. р. близок режиму положит. столба тлеющего разряда.