пьезополупроводниковые преобразователи

ПЬЕЗОПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ - электроакустич. преобразователи, действие к-рых основано на свойствах обеднённого носителями заряда тонкого слоя пьезополупроводника. Обычно П. п. являются вибраторами, работающими на резонансной частоте (в диапазоне частот от 10 МГц до 75 ГГц). Используются пьезополупроводники Cds, ZnO, CdSe, GaAs, A1N, GaP, ZnS и Se. Кристалл пьезополупроводника, в к-ром формируют обеднённый слой, служит звукопроводом. Благодаря тому, что изменение электросопротивления необеднённого полупроводника не вызывает заметного изменения его акустич. параметров, создаётся возможность получения интегральной структуры, объединяющей тонкий высокоомный обеднённый слой пьезополупроводника и низкоомный звуко-провод. Электрич. ВЧ-напряжение, приложенное к такой структуре, почти полностью падает на высокоом-ном слое, а сам слой работает как пьезопластинка (см. Пьезоэлектрические преобразователи). Обеднённый слой может быть создан разл. способами (диффузией примеси, нанесением плёнки, образованием запорного слоя). П. п. характеризуются большой шириной частотной полосы пропускания, превышающей в отд. случаях 100% от резонансной частоты. Эффективность работы П. п. определяется в осн. электрич. потерями, связанными с наличием электрич. проводимости пьезополу-проводников, и потерями, обусловленными отражением волновых полей от П. п. Используются П. п. и в пассивных и активных УЗ-линиях задержки, в пьезоэлектрич. усилителях, фильтрах, а также при исследованиях распространения гиперзвука в веществе, в частности в исследовании электрон-фононного взаимодействия.

Лит.: Физическая акустика, под ред. У. Мэзона, пер. с англ., т. 1, ч. Б,М., 1967; Пьезополупроводниковые преобразователи и их применение, М., 1973. Е. К. Грищенко.

   <<      Предметный указатель      >>